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关键词:
沈阳国顺真空
产品描述
参数
主要性能指标
外形尺寸
最大入口压力：15 mbar
最小可检测氦漏率(在真空模式下)：在真空模式下≤5×10-12 mbar l/s；在吸气模式下＜1×10-7 mbar l/s
能显示的最大氦漏率：0.1 mbar l/s
测量范围：12 数量级
漏率信号时间常数（封闭，终值的63%）：＜1s
入口抽速（氦）：GROSS模式0.4 l/s；FINE 模式＞2.5 l/s
可检测质量：2，3 和4
质谱室：180°扇形磁场
离子源：2灯丝，铱/氧化钇
吸入口： DN 25 KF
起动时间（启动后）：≤2 min
为了降到最小可检测漏率范围，必须满足一些条件。
PhoeniX 已完全预热。
环境状况必须稳定（温度，无振动/加速度）
试件抽空足够长（本底不再下降）
ZERO 必须激活。
关键词:
沈阳国顺真空
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