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D07-60F型体质量流量控制器
所属分类
质量流量控制器
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产品编号
051700018
品牌:
材料:
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电机规格:
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1
产品描述
参数
主要性能指标
外形尺寸
商品简介
D07-60F型 质量流量控制器 ★24VDC单电源供电,4~20mA输入输出信号 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头用途: 质量流量控制器(MFC)用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为:
标准温度………………0℃(273.15K)
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………24V,400mA
输入设定电压…………(4~20)mA or (1~5)V
输出电压检测…………(4~20)mA or (1~5)V
产品技术指标
满量程流量范围(N2) | 300SLM~2000SLM | |
控制范围 | 2~100%F.S. | |
阀类型(阀初始状态) | 先导阀 | |
准确度 | ±2%F.S. | |
线性 | ±(0.5~2)%F.S. | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤20sec | |
工作温度范围 | 5~45℃ | |
工作压差范围 | (0.2~0.5Mpa (≤1000SLM) | |
(0.3~0.5Mpa (>1000SLM) | ||
耐压 | 3MPa | |
漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |
密封材料 | 氟橡胶;氯丁橡胶 | |
接头选择 | 法兰 | 根据用户要求设计 |
Swagelok | 1/2””或φ10mm | |
电插头形式 | DB15 pin(Male) | |
重量 | 6kg |
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无
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