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D07-60B型气体质量流量控制器
所属分类
质量流量控制器
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产品编号
051700015
品牌:
材料:
规格:
电机规格:
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1
产品描述
参数
主要性能指标
外形尺寸
商品简介
D07-60B型 质量流量控制器 ★高精度、重复性好、快响应型 、超大流量型 ★橡胶密封、模拟电路的MFC ★国际标准机械接头用途: 质量流量控制器（MFC）用于对气体的质量流量进行精密地测量和控制。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等业。
详细参数
标准:
气体质量流量用氮气(N2)标定。标准状态规定为：
标准温度………………0℃（273.15K）
标准压强………………101325Pa
输入和输出:
输入电源………………+15V,50mA;-15V,200mA
输入设定电压…………0～+5.00V
输出电压检测…………0～+5.00V
产品技术指标
| 满量程流量范围（N2) | 300SLM～2000SLM | |
| 控制范围 | 2～100％F.S. | |
| 阀类型（阀初始状态） | 电磁调节阀（常闭） | |
| 准确度 | ±2％F.S. | |
| 线性 | ±1％F.S. | |
| 重复精度 | ±0.2％F.S. | |
| 响应时间 | ≤10sec | |
| 工作温度范围 | 5～45℃ | |
| 工作压差范围 |
（0.25～0.5）MPa (≤1000SLM) （0.4～0.5）MPa (＞1000SLM) |
|
| 耐压 | 3MPa | |
| 漏气率 | 1×10-8SCCSHe | |
| 通道湿材料 | 316L不锈钢、密封材料 | |
| 静密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶） | |
| 动密封材料 | 氟橡胶（或丁晴橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯） | |
| 接头选择 | 法兰 | 根据用户要求设计 |
| Swagelok | 1/2””或φ10mm | |
| 重量 | 6kg | |
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